HKD-220KJ型 晶片扩张机
使用说明
一. 机器用途:
HKD-220KJ型晶片扩张机被广泛应用于发光二极管、中小型功率三极管、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。
二.机器特点:
①采用双气缸上下控制;②恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;③加热、拉伸、扩晶、固膜一次完成;④加热温度、扩张时间、回程速度均匀可调。⑤操作简便,单班产量大;⑥机器外形见图。
三.技术参数:
1.电源电压: AC220V±10%,50Hz
2.工作气压: 4Kg/cm2
3.温度范围: 室温~400℃
4.上气缸行程:150/200/300/350 mm
5.下气缸行程:100 mm(可双向调节)
6.扩张面积: 7850/17670/31420/40450 mm 2
7.外型尺寸: 长370mm×宽320mm×高850/950mm
8.机器重量: 20kg